臥式真空爐是真空技術(shù)與電爐加熱技術(shù)相結(jié)合的熱處理設(shè)備。應(yīng)用于冶金、機械、航天、電子、輕工等產(chǎn)業(yè)部分。如:半導體芯片燒結(jié)及退火處理、永磁合金制造、真空釬焊、真空除氣、金屬材料的無氧化光亮熱處理等工藝。因為設(shè)備可提供清潔無雜質(zhì)的高真空狀態(tài),加熱溫度平均且能夠精確控制,因此工藝前提優(yōu)勝,可進步工件質(zhì)量和成品率。
臥式真空爐的技術(shù)特點:
工作熱區(qū)設(shè)置多支熱電偶,通過函數(shù)記實儀、溫控儀、計算機顯示和記實熱區(qū)的溫度分布。
高精度、多功能入口溫控儀,能自動調(diào)節(jié)與修改PID參數(shù),可存儲9條控溫曲線,可在線修改。
可實行雙向通信監(jiān)控,以菜單、圖表、曲線、動態(tài)界面等形式顯示相關(guān)內(nèi)容
極限真空度高,冷態(tài)下爐體可獲得優(yōu)于5×10-4Pa的真空度,熱態(tài)下可維持在10-3Pa數(shù)目級 。
全工位動態(tài)模擬顯示,運行操作,直觀明了 。
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